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晶圆是制造半导体芯片的基本材料,半导体集成电路最主要的原料是硅,因此对应的就是硅晶圆。硅在自然界中以硅酸盐或二氧化硅的形式广泛存在于岩石、砂砾中,硅晶圆的制造可以归纳为三个基本步骤:硅提炼及提纯、单晶硅生长、晶圆成型。在晶圆进行封装时,一般都需要通过磨片机对晶圆进行减薄厚度,其基本方式是通过半导体晶圆和研磨砂轮的相对运动来实现,分别是通过粗磨和精磨两个砂轮进行减薄,精磨砂轮的颗粒尺寸直接决定了研磨的品质,但是目前减薄装置只有一个砂轮,而半导体圆片级封装领域对同一片晶圆又有不同的研磨品质的要求,其作业顺序只能是:先进行硅面粗磨减薄,再进行精磨减薄,这样导致需要多次进行磨轮的更换,不但浪费材料,还大大降低了设备的利用率。因此,急需一种可以同时具备两种磨轮,无需更换磨轮,提高加工效率的磨片装置。