1）主要作用是利用水和水溶性液体在负压清空下提升水活性，轴承超声清洗，使得到更好的空化作用来冲击工件的表面达到普通清洗机无法达到的冲击力度和排出盲孔中的空气使得液体进入到工件的盲孔位置让超声进入，进行人工无法清洗到的位置。真空清洗干燥机利用液体在真空状态下的物理变化，改变了碳氢清洗剂和被清洗物的某些特性，从而趋利避害，使碳氢清洗剂的优势得到更好的发挥。

2） 脱出清洗剂中的空气，减少超声波的衰减。 为提高清洗效果，清洗机中一般都采用超声波技术，利用超声波振子每秒钟几万次频率的振动，发出超过人耳可听见的10万倍以上的声压。在清洗的情况下超声波在液体中呈***状，使清洗液体流动而产生大量的真空气泡，这种现象就是空穴作用。由这种空穴作用而产生的液体流动和数以万计的高压真空气泡瞬间*破时产生的能量，不断地冲击被清洗物表面，使表面及缝隙中的污垢迅速剥落。但在常压状态下，清洗剂中溶解的空气粒子遇到超声波时产生气泡，超声波的空穴作用会被大幅度衰减，清洗效果被减弱。在真空状态下，清洗剂中的气体会被脱出，从而避免了超声波的衰减。

3）  排除工件表面和孔隙中的空气，提高清洗效果。在传统清洗中，清洗效果不理想常常是因为盲孔、粗糙表面和细小缝隙中的空气不能排出，影响清洗剂的浸润，产生清洗盲区。应用真空技术后，工业型清洗设备，可使部件表面、缝隙和盲孔内的空气全部排出，使清洗剂完全浸入工件的每个部位，使工件的各个部位都达到*好的清洗效果。对于构造复杂、盲孔较深的工件，通过两次以上的抽真空和排气过程，也可以将空气全部排出。所以在真空状态下，清洗效果要比常压下更好。