实验室供气方式是采用将气瓶安置在仪器设备的旁边,危险气体的气瓶放置在气瓶柜内。排气采用直接排放到实验室或是通过简易的管道排放到窗外。在实验室的发展过程中,随着实验室仪器设备的增加,实验室内经常是密布着各种各样的管道和气瓶。这样处理既造成了非常大的安全隐患,也不美观。
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使用传感器的测试小技巧来完成测试可以把原边导线多绕几圈,通过增加一次侧的匝数,来改变输入输出的变比,比如,霍尔传感器IT1000-S变比为1:1000,原边导线多绕5圈,此时,输入输出的实际变比为1:200,并在功率计上更改变比值,这样测量的电流值为1A*1%*200=2A,相比原来的10A,上升了一个台阶,按照此道理,可以再多绕几圈,可以测量的电流值将进一步缩小。上面讲解的两种方法都是可取的,有条件的话当然选用PATV-33,所能测量的电流更小。
实验室的很多设备的运行都需要各种各样的气体供应,同时也会产生废气。如何既安全又方便地解决供排气问题,也是一直以来困扰实验室工作人员的问题之一。
正确的实验室供排气的解决方案是把实验室的供排气看作一个系统。这个系统要考虑到安全性、便利性、日常实验室的管理、气瓶的更换等问题,同时要重点考虑实验室今后的发展,对于特殊气体还要考虑特殊的技术解决方案。
(一)设计标准
1、《工业金属管道设计规范》[GB50316-2000(2008版)];
2、《工业金属管道工程施工及验收规范》(GB50235-1997);
3、《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》(GB50236-1998);
4、《乙炔站设计规范》(GB50031-1991);
5、《氢氧站设计规范》(GB50177-2005);
6、《氧气站设计规范》(GB50030-1991);
7、《压缩空气站设计规范》(GB50029-2003);
8、《深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规程》(GB16912-2008)。
(二)技术要求
1、气瓶间:
①气瓶间应采用300mm厚实体墙,安装防爆门,设置泄爆窗;
②室内电器设备均应具备防爆功能;
③室应安装排气扇,时刻保持良好的通风状态;
2、供气系统要求采用两级减压的方式进行供气,供气汇流排次减压,气体由15Mpa减压到1.5Mpa以下,再输送到各用气实验室,二级减压器安装在各用气实验室或用气点,方便统一控制通风柜或仪器用气的输入压力,用气终端配有中压球阀和压力指示表,二级减压器对压力进行调整(0.01Mpa),得到稳定的压力,可以满足仪器对不同使用压力的要求,一、二级减压器均配有压力表,可实时显示当前压力;
3、采用双侧汇流排半自动方式不间断供气,充分满足实验室的使用要求,更换气瓶时,可通过安装在高压软管下面的卡套进行气瓶更换;
4、氢气和乙炔属于易燃气体,应设计气体泄露探测报警装置,并安装阻火器,防止明火回流,易燃与助燃气体敷设应保证足够的安全距离。
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半导体生产流程由晶圆制造,晶圆测试,芯片封装和封装后测试组成,晶圆制造和芯片封装讨论较多,而测试环节的相关知识经常被边缘化,下面集中介绍集成电路芯片测试的相关内容,主要集中在WAT,CP和FT三个环节。集成电路设计、制造、封装流程示意图WAT(WaferAcceptanceTest)测试,也叫PCM(ProcessControlMonitoring),对Wafer划片槽(ScribeLine)测试键(TestKey)的测试,通过电性参数来监控各步工艺是否正常和稳定,CMOS的电容,电阻,Contact,metalLine等,一般在wafer完成制程前,是Wafer从Fab厂出货到封测厂的依据,测试方法是用ProbeCard扎在TestKey的metalPad上,ProbeCard另一端接在WAT测试机台上,由WATRecipe自动控制测试位置和内容,测完某条TestKey后,ProbeCard会自动移到下一条TestKey,直到整片Wafer测试完成。
(三)工程用材
1、管道、球阀、卡套和三通等为316L不锈钢,减压器为高纯气体减压器(不锈钢阀芯),高压软管(连接钢瓶和汇流排)为不锈钢波纹管,在高压软管的进气端,配置单向阀,可以防止更换钢瓶时,软管内的气体外泄,同时避免外界的空气混入气路之中;
2、管道系统:所有的气体管道选用BA级别的316L不锈钢管,在管路上有个过滤杂质和水分的净化装置,使气体在流通过程中不至于被管道系统污染,保证气体的纯度,同时要有明确标示,指示气体的流向;
3、管道的连接:汇流排、终端部分采用卡套连接,便于减压器和阀门的维护管理;
4、终端:在每台仪器之前,配置截止阀和二级减压器(每种气体配置一个)。截止阀用于控制每一个气路的开启与关闭;在仪器需要调整和维修时,能停止任何的仪器的气体供应,减压器用于显示和调整终端的压力。
(四)其它
1、气体管路每间隔1.5m采用管码支架固定,并根据气体管路弯曲的直径,设置合适的支架位置;
2、整个管路安装完毕后,对整个系统做压力测试。参照《工业金属管道工程施工及验收规范》,管路系统在保压24小时后,压力无下降为合格。
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在测试项目中还新增了恒功率充电测试和功率自动分配试验,并给出了这2种报告对应的实验方法。艾德克斯IT89高性能大功率可编程直流电子负载电压范围为15V/6V/12V,支持CV模式主从并联,可对接测试需求容量,功率可达6KW,可满足充电桩参数要求。直流充电桩通常采用模块化设计,市面上常见15kW,2kW充电模块,在直流充电桩厂商中既需要对充电模块进行测试,也需要对整桩进行测试。