德国MLase准分子激光器MLI-500,ArF、KrF光源光刻机专用激光器
德国MLase准分子激光器MLI-500,ArF、KrF光源光刻机专用激光器
产品价格:¥30000(人民币)
  • 规格:MLI-500
  • 发货地:北京顺义区
  • 品牌:
  • 最小起订量:1件
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    商品详情

      德国MLase准分子激光器MLI-500,ArF、KrF光源光刻机专用激光器

       

      MLI 系列由具有直接波长的准分子激光器组成,适用于工业应用。当然,我们可以调整我们的基本设备以满足您的个性化需求。

      MLase 的现代紧凑型 MLI 准分子激光器是波长为 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,具有高达 16 mJ 的高脉冲能量和高达 1,000 Hz 的脉冲重复频率。

      它们是市场上使用寿命最长、可靠性、运营成本低的独立设备。它们均匀的钢型材和能量稳定性使它们非常适合要求苛刻的应用。

      我们的LC准分子激光系统还能够进行主动水冷却(使用生活用水或外部热交换器;无需纯净水),以实现稳定的连续运行。

       

       

      常用型号:

      MLI-200

      MLI-500

      MLI-1000

      参数介绍:

      参数

      ArF

      ArF

      ArF

      KrF

      KrF

      KrF

      波长(纳米)

      193

      193

      193

      248

      248

      248

      脉冲重复频率(赫兹)

      200

      500

      1000

      200

      500

      1000

      稳定的脉冲能量 (mJ)

      6

      6

      6

      10

      10

      10

      稳定平均功率 (W)

      1,2

      3,0

      6,0

      2,0

      5,0

      10

      脉冲稳定性(标准偏差%)

      2

      2

      2

      2

      2

      2

      光束宽度(FWHM,VxHmm)

      6×3

      6×3

      6×3

      6×3

      6×3

      6×3

      光束发散(FWHM,VxHmm)

      2×1

      2×1

      2×1

      2×1

      2×1

      2×1

      脉冲长度

      5-10

      5-10

      5-10

      5-15

      5-15

      5-15

      德国MLase准分子激光器MLI-500,ArF、KrF光源光刻机专用激光器

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