辽宁ALICAT总经销 ALICAT气体质量流量控制器沈阳售后服务性能
- 可用量程:0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm(参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(1/20和50 slpm)或100:1(100 sccm)
- 校准精度(NIST可溯源):±(1.5%读数+0.5%满量程)
- 可重复性:0.5%满量程
- 标准控制器响应时间常数:100ms(可利用PID调节功能调节)
- 预热时间:70ms,达到完整精度
商铺名称:北京芯笙微纳电子科技有限公司
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辽宁ALICAT总经销 ALICAT气体质量流量控制器沈阳售后服务 艾里卡特Alicat气体质量流量控制器快速、精准地确定稳定的流量。与任何其它产品相比,我们的质量流量控制器能够更快地到达其设定值,使其能够抑制管线压力波动,因而不会影响您的过程下游。定制化阀门选配项和出厂PID调节能确保您的MFC在具体应用中具备良好性能。
基于压力的质量流量仪表的性能:
*详细规格见产品说明书*
MC系列气体质量流量控制器是我们的标准质量流量控制器,其型号众多,可测量高达5000 slpm或者低至0.0025 sccm的流速。
若管线压力较高(145-305 psig),请选择MCQ系列高压气体质量流量控制器。
MCW系列低压损气体质量流量控制器适用于低压损应用环境、泄漏测试,也能缩短50 scccm或更低流速条件下的气动响应时间。
若您需要现有热式质量流量控制器的简易替换件,MCE系列真空气体质量流量控制器将阀门置于内部,使其工艺连接件与SEMI标准长度相符。
对于真用应用,MCV系列真空气体质量流量控制器是在MCE系列的基础上另增加一气动截止阀。
BASIS系列OEM气体质量流量控制器是艾里卡特的紧凑型质量流量控制器系列,专门设计用于OEM应用和大量订单环境。
为满足生物反应器市场的需求,Alicat发布了世界上专门用于生物行业的BIO系列气体质量流量控制器。