催化燃烧净化法与直接燃烧净化法一样，均属于热力破坏法，其机理都是氧化和热裂解、热分解废气中的有机成分，分解为无伤害的水等。但但对处理高浓度的有机废气，通常认为催化分解是最理想的方法。其原因是催化燃烧的温度要比热焚烧的温度低得多，而且效率高、能耗低、压降小、所需设备体积小、造价低，不产生氮氧化物。

催化原理；
   催化剂定义  催化剂是一种能提高化学反应速率，控制反应方向，在反应前后本身的化学性质不发生改变的物质。
  催化作用机理  在一个化学反应过程中，催化剂的加入并不能改变原有的化学平衡，所改变的仅是化学反应的速度，而在反应前后，催化剂本身的性质并不发生变化。催化剂本身参加了反应，正是由于它的参加，使反应改变了原有的途径，使反应的活化能降低，从而加速了反应速度。
催化系统装置组成；
   催化燃烧的工艺组成不同的排放场合和不同的废气，有不同的工艺流程，不论采取哪种工艺流程，都由如下工艺单元组成。
  预热装置  预热装置包括废气预热装置和催化剂燃烧器预热装置。因为催化剂都有一个催化活性温度，对催化燃烧来说称催化剂起燃温度，必须使废气和床层的温度达到起燃温度才能进行催化燃烧，必须设置预热装置。但对于排出的废气本身温度就较高的场合，如漆包线、绝缘材料、烤漆等烘干排气，温度可达300℃以上，则不必设置预热装置。
   废气预处理  为了避免催化剂床层的堵塞等，废气在进入床层之前必须进行预处理，以除去废气中的粉尘等。