Nexensor耐神白光干涉扫描显微镜采用干涉测量技术，这是一种用于校准精密测量设备并精确测量小面积的技术。因此，它提供了可靠的数据，以提高流程效率并有效提高生产质量。

此外，这种更快的测量解决方案非常适合大规模生产线，其先进的测量技术确保了测量的高可靠性。

nXI-5测量台阶、厚度和粗糙度，因此可用于测量1微米或者更小，例如半导体的微结构、凸起和粗糙度，以及面板中的 Column Spacer 、表面结构和因异物引起的凸起等。此外，它还可以分离薄膜和因此，在测量多层结构的产品方面表现出色。