德国unitemp快速退火炉RTP-100、RTP-150、RTP-200、VPO-300
产品价格：￥8.89（人民币）
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商品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 德国unitemp | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 工作电压 | 220V | ||
| 最高温度 | 1200摄氏度； | ||
| 升温速率 | 150摄氏度/秒 | ||
| 降温速度 | 200摄氏度/分钟 (1000摄氏度-->400摄氏度) | ||
| 温控均匀性 | ≤ 1.5设定温度 | ||
| 加热方式 | 红外卤素灯，顶部及底部加热 | ||
| 灯管数量及功率 | 18支/20千瓦 | ||
| 腔体冷却 | 水冷方式 | ||
| 衬底冷却 | 氮气吹扫 | ||
| 工艺气路 | MFC控制，最多4路 (氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等) | ||
| 低真空 | 10-3 hPa | ||
| 主机尺寸 | 505mm x 504mm x 420mm (W x D x H) | ||
| 重量 | 55Kg | ||
| 高真空 | 10-6 hPa | ||
| 晶圆尺寸 | 4英寸 | ||
| 可售卖地 | 全国 | ||
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