S51系列压电偏摆\/升降台中心通孔的三维θxθy及Z轴运动
S51系列压电偏摆\/升降台中心通孔的三维θxθy及Z轴运动
产品价格:¥\u9762\u8bae(人民币)
  • 规格:完善
  • 发货地:黑龙江哈尔滨
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    商品详情
      产品参数
      S51 系列压电偏摆 / 升降台 中心通孔的三维 θxθy 及 Z 轴运动 品牌兀 芯明天 COREMORROW
      重量820g
      加工定制
      数量1000
      名称S51系列压电偏摆/升降台
      详细信息请咨询销售工程师
      运动自由度θx、θy、Z
      闭/开环Z向位移分辨率7nm/4nm
      推/拉力120N/15N
      空载谐振频率340Hz
      静电容量5.4μF
      直线行程范围 (0~150V)100 μm
      传感器类型SGS/-
      闭 / 开环 Z 向位移分辨率7/4 nm
      可售卖地全国
      材质铝、钢

      S51 系列是具有中心通孔的三维 θxθy 及 Z 轴运动的压电偏摆台,采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高,80×80mm中心大通孔使其易于集成在显微及扫描等光学系统中。

      特点:

      ? θx、θy 偏摆运动,Z 向升降 ? 闭环定位精度高 ? 响应速度快 ? 透光孔:80×80mm?




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