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产品参数 | |||
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S51 系列压电偏摆 / 升降台 中心通孔的三维 θxθy 及 Z 轴运动 品牌 | 兀 芯明天 COREMORROW | ||
重量 | 820g | ||
加工定制 | 是 | ||
数量 | 1000 | ||
名称 | S51系列压电偏摆/升降台 | ||
详细信息 | 请咨询销售工程师 | ||
运动自由度 | θx、θy、Z | ||
闭/开环Z向位移分辨率 | 7nm/4nm | ||
推/拉力 | 120N/15N | ||
空载谐振频率 | 340Hz | ||
静电容量 | 5.4μF | ||
直线行程范围 (0~150V) | 100 μm | ||
传感器类型 | SGS/- | ||
闭 / 开环 Z 向位移分辨率 | 7/4 nm | ||
可售卖地 | 全国 | ||
材质 | 铝、钢 |
S51 系列是具有中心通孔的三维 θxθy 及 Z 轴运动的压电偏摆台,采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高,80×80mm中心大通孔使其易于集成在显微及扫描等光学系统中。
? θx、θy 偏摆运动,Z 向升降 ? 闭环定位精度高 ? 响应速度快 ? 透光孔:80×80mm?