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商品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | Nexensor 耐神 | ||
| 规格 | 10X | ||
| 加工定制 | 是 | ||
| 光谱干涉法 | 薄膜构造分析 | ||
| 色散分析 | 5层薄膜测厚 | ||
| 自带工作软件 | 自带分析软件 | ||
| 镀锌钢板外壳 | 本体蓝色 | ||
| 高平面分辨率 | 高Z向分辨率 | ||
| 自动对焦 | 白光光源 | ||
| 可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
| 型号 | nXR-1 | ||
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多层薄膜器件的纳米结构三维测量技术
光谱干涉法的原理是通过散射元件结构获取光谱干涉信号，并同时获取关于多层薄膜结构的表面形状和多层薄膜的厚度的线轮廓信息。
在水平分辨率的情况下，它由物镜的放大率决定，因此可以以纳米级的精度测量多层薄膜的表面形状，同时具有比现有反射法和椭圆法更高的水平分辨率。
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