| 详细介绍：
我公司生产的洁净烘箱系用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤，强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到最佳温度控制精度。无尘洁净烤箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、、实验室等生产及科研部门。洁净烤箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
无尘干燥箱，洁净干燥箱，高效过滤洁净干燥箱详细资料：
一．特点：
1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 10
2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
3.采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE；
4.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class 10,排气口：３"φ(附自动启闭风门)
洁净烘箱技术参数：
1.温度范围:RT~300℃任意调节恒温（400℃，500℃及以上可定制）
2.输入功率:定制
3.电源:可提供各国电源如110V/220V/380V/415V/440V…(50/60)Hz
4.温度波动度：±1℃
5.温度均匀度：空载±2.5%℃
6.升温速度：50~200℃在30分种以内
7.内部材质：SUS不锈钢板，外部材质：冷轧钢板
8.发热体:护套式电加热管
9.安全装置：超温保护装置、马达过热电流保护、空气开关等
10.温度控制：SSR（SCR）接点方式输出可选，自动PID控制,LED数字显示
11.系统：采用特制耐高温长轴型马达及强力多翼式风叶，强力吸风式机构可得到最
佳均匀分布温度，安静低噪音，节约能源。
12.标准配件：保温定时器、单段式温度控制器
13.选购品：1点（多点）温度记录器、可程序温度控制器、推车、不锈钢冲孔盘、电
磁门扣、马达转速调节器、三色塔灯、探测孔、PLC控制、触摸屏控制
14.其它规格：本公司亦可根据客户要求承接设计制造各种大型烘箱
15.洁净级别：百级
二．执行与满足标准:
1.GB/T11158-1989高温试验箱技术条件
2.GB2423.2-1989试验B
三．洁净烤箱用途:
无尘洁净烤箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、、实验室等生产及科研部门。
无尘洁净烤箱也可用于非挥发性及非危险物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
四．洁净烤箱技术参数:
1.名称及型号：无尘洁净烤箱 SZYB-LY-001
2.主要技术指标：
2.1无尘等级：Class 10;
2.2温度范围： 60～ +300℃；
2.3温度均匀度：200℃±3℃、300℃±4℃;
2.4温度波动度：±0.5℃（空载）
2.5温控精度：±0.1℃;
2.6洁净烤箱搁板为活动形式。(两箱式)
2.7电源：380v , 50Hz，12Kw
3、洁净烤箱箱体结构：
3.1洁净烤箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成，结构合理，外观美观大方；
3.2全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；
3.3箱体材料：外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘；
3.4内胆材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩焊密封加工(防污染)。
无尘干燥箱，洁净干燥箱，高效过滤洁净干燥箱
厂家技术服务热线：杨经理 15851656650.
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