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电子级化学品,又称超净高纯试剂(ultra-cleanandhigh-purityreagents),国际上统称为工艺化学品,美欧和中国台湾地区又称湿化学品,是超大规模集成电路(俗称“芯片”)制作过程中的关键性基础化工材料之一,其中电子级乙醇主要用于芯片、液晶、磁头、线路板等精密电子元器件加工过程中的超净清洗、干燥,以及净化间用具的超净清洁有机溶剂。当乙醇中含有碱金属杂质(钠、钾、钙等)时,杂质将溶进氧化膜中,造成耐绝缘电压下降;当重金属(铜、铁、铬、银等)存在,则会使p-n结耐电压降低。因此,其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能以及可靠性都有着十分重要的影响。
制备超净高纯乙醇的现有技术包括吸附,精馏,亚沸蒸馏,干燥和过滤工艺的一种或者几种。例如中国专利《一种制备超低金属离子浓度乙醇的装置》中叙述了通过亚沸蒸馏获得超低金属离子浓度的电子级乙醇,但此种方法效率较低,不适合工业生产。中国专利《一种制备超净高纯醇类试剂的方法》中叙述了无水乙醇通过改性碳纤维吸附,得到不含离子的超净高纯醇类试剂,但此方法不适合工业级含水乙醇作为原料直接处理,且在处理吸附剂时需使用氧化剂,具有一定的安全隐患。中国专利《一种超纯度无水乙醇的提纯方法》中叙述了无水乙醇通过微量的氢氧化钡,然后进行微膜过滤,过滤后进行精馏。此方法并没有说明对阴阳离子的去除。