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    NIKON工业干涉物镜10X/20X/50X/100X
    发布者:lixiaobingaa  发布时间:2023-08-24 10:26:21  访问次数:175

    NIKON工业干涉物镜10X/20X/50X/100X

    NIKON工业干涉物镜10X/20X/50X/100X

       

    尼康干涉物镜CF PLAN5X/10/20X/50X/100X DI

       

    干涉物镜

    2.5x 5x 10x 20x 50x 100x
    工作距离(mm) 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
    NA(数值孔径) 0.055 0.15 0.30 0.45 0.55 0.7
    FOV(mm)1 5093×3818 2546×1909 1270×950 637×477 254×190 127×95
    空间采样(mm)2 6.64 3.32 1.62 0.83 0.33 0.17
    光学分辨率蓝光(L&S)(mm)3 2.55 0.93 0.46 0.31 0.25 0.20
    光学分辨率白光(L&S)(mm)3 3.04 1.11 0.56 0.37 0.30 0.24
    大坡度4 3.05o 8.6o 14o 21o 25o 42o
    垂直分辨率(nm)PSI7
    垂直分辨率(nm)ePSI7
    <0.1nm(PZT0.01nm)
    垂直分辨率(nm)VSI7 1nm5mm
    垂直范围PSI(mm) 5mm
    垂直范围ePSI(mm) 100mm
    垂直范围VSI(mm) 10mm
    扫描速率(mm/s) PSI:3-15mm/s  VSI/ePSI:4-18mm/s
    一般测量时间(s)9 PSI:3s   VSI:10s  ePSI:30s

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