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薄膜式气缸,是引导活塞在其中进行直线往复运动的圆筒形金属机件。是一种利用压缩空气通过薄膜推动活塞杆作往复直线运动并在次过程中将空气压力能转换为机械能的气缸。
薄膜式气缸主要由缸体、活塞杆、膜片和膜盘等主要部件构成。
薄膜式气缸有单作用式薄膜式气缸和双作用式薄膜式气缸两种。较于活塞式气缸,薄膜式气缸的结构紧凑简单、制造容易、成本低、寿命长、泄露小、效率高;但是膜片的变形量有限,行程短。
薄膜式气缸主要用在印刷(张力控制)、半导体(点焊机、芯片研磨)、自动化控制、机器人等领域。