静电对电子工业危害分析
静电对电子工业危害主要表现为以下三种方式：尘埃吸附、静电放电和静电感应。
(1)尘埃吸附
静电对几~几十微米的尘埃吸附作用明显。尘埃对微电子生产影响很大，在现代微电子生产中，芯片的线宽已达到0.1微米。一颗直径几微米尘埃吸附在芯片上，即可造成十几根芯线间的绝缘强度降低，造成短路并使芯片损坏。
注: 1μm =0.001mm, 头发直径：75μm，
肉眼可见最小黑点：40μm。
(2) 静电放电 （ESD）
静电放电可使集成电路芯片介质击穿，芯线熔断、漏电流增大而加速老化、电性能参数改变等。静电放电对芯片损坏具有潜在性与和缓慢失效性，这种危害性更大。
(3) 静电感应