静电的危害：
 
1、吸尘：生产过程中，由于静电吸附的作用，尘埃易吸附在器件和设备表面，影响产品质量，造成故障。
2、电晕放电：电晕放电时，往往伴随着电晕噪声，对收音机、通信机、微电子设备均会造成干扰。电晕放电会严重影响MOS电路和双极性集成电路的产品质量。
3、引起火灾或。
4、人体带静电会引起电击。
 

静电的消除：
静电是最难控制的因素之一，静电可以使半导体器件生产中的废品增多、降低电子设备的可靠性。时间证明，在半导体器件的制造和测试过程中、在运输和储存中、在设备的安装和调试以及使用过程中，半导体器件都可能受到静电的作用。因此，在半导体器件的生产中，实际上所有的制造阶段都需要防止静电对器件的作用。
消除静电的方法有很多，对有防静电环境要求的无尘车间工程，常用以下几种方法：
1、选用合适的材料
采用不易产生静电或产生静电后能较快泄露的材料，多种材料共同使用时，应选用在电序列表中位置接近的材料。
 
2、接地
接地时带电导体消除静电最为普遍、经济、简便、可靠的方法。
 
3、中和
将带电体周围的空气离子化后，带电的离子在电磁场作用下发生迁移，带电体吸引异性电荷达到中和而消除静电。
 
4、湿度控制
在众多消除静电的方法中室内湿度控制也被认为可以用来减少和消除无尘车间内的静电。通过在环境中保持高的相对湿度，在该区域内物体的表面将形成薄薄的湿气层，利用这一薄层来提供导电的通道，使得可能产生的电荷流过该湿气层耗散静电荷。

洁净室在许多行业是必不可少的，尤其是在微电子工业方面有着严格的要求，例如生产较高档的电子元器件就必须要有洁净的工作环境，有关检测部门在检测时也需要有洁净的工作环境来满足其功能。为了使这个洁净环境能满足生产、检测等要求，我们必须克服一个不容忽视的因素，那就是静电。

在洁净室里生产的各类电器元器件，基本上都需要防静电，因为生产高性能要求的产品时，若有静电吸附，被吸附的微尘就成了击穿中心，就会使材料的绝缘特性下降等。元器件、设备、甚至墙面或地板上都可能随时产生静电荷，有了静电荷就有了静电吸附的现象，导致洁净室的洁净度的下降。同时，洁净度下降后，空气中的微粒数量增加，这样更加剧了静电吸附现象的发生。

因此洁净室在关注污染控制的同时也应注意防止静电，下面就从3方面来述说一下洁净室静电的防止方法。

1、防止洁净室里产生静电

我们必须在设计和采用材料时就选用不易产生静电，或产生静电能迅速泄漏的材料。在以往的设计中我们为了使静电电荷有迅速逃逸的通路，往往只注重对地板的作用，即采用防静电地板来消除静电。并且只把系统电阻值限制在105—108欧姆之间来作为衡量防静电的标准，目前看来是远远不够的。

现在欧美、日本等国家在设计洁净室时已经不局限于防静电地板了，对洁净室隔断、墙壁及洁净的结构系统等都考虑在内。目前在设计时我们也会充分考虑到防静电的要求，如采用喷涂静电涂料、防静电蜡等来作为辅助措施或补救方法来克服静电。使洁净室不产生或少产生静电。

2、利用洁净室的空气、温湿度来控制

我们在设计洁净室时一般利用其固有的条件来消除静电。因为空气湿度在RH50%左右或温度在23℃左右条件下，其形式的空气导电会有良好的防静电环境。设计条件允许时尽量满足靠拢它。采用离子发生器也可消除静电和防止带静电等。

3、消除人体带电

进入洁净室的人员必须穿防静电洁净服、穿戴防静电手套，穿防静电鞋等来消除静电。运输周转中的工具如小车，箱子也应采用防静电的产品。

静电放电在很多情况下是我们所不希望的，它在具有易燃易爆气体的场所极易导致危险的火灾。而且洁净室内的静电对产品的伤害是极大的，因此，洁净室静电的控制是不可忽视的。

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