影响洁净室内的空气品质的因素很多。如：洁净室内的新鲜空气量的大小；室内含氧量的多少；室内的负离子数量；室内装修安装等材料和生产过程产生的低浓度分子级的化学污染物的情况以及生产过程中散发的酸、碱、有机等废气都会影响洁净室内的空气品质。
1、洁净室内的新鲜空气量
《洁净厂房设计规范》50073-2001中规定“保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。”
根据平衡方程式：
人们工作正常呼吸排出的CO2量 M = 0.03 m3 /人·h
新鲜空气中CO2的含量 C0 = 0.0003 m3 / m3空气
洁净室内空气允许的CO2含量 C = 0.001 m3 / m3空气。
故：洁净室内人们正常工作所需的新鲜空气量 L新 = M/C-C0
L新 = M/C-C0 = 0.03/0.001- 0.0003 = 42.86 m3 /人·h
因此，新鲜空气量按规范要求是可行的。新鲜空气量太小不利于洁净室内作业人员的健康，若新鲜空气量太大，运行能耗太大，运行费用太高不经济。但最小不低于40m3 /人·h。
2、洁净室空气的含氧量
大气中氧气的含量大约占21%，氮气大约占79%，其他气体的含量占总量的比例微忽其微。而洁净室是一个密封的空间，往往在洁净室内作业的人员会感觉不舒服、闷气、头痛等等，是不是洁净室内空气中的氧气含量少了呢？为了这一问题，在1983年编制《洁净厂房设计规范》GBJ 73-84时，专门请了北京有关卫生部门的专家对北京878厂洁净室内的氧气含量进行了测试，其结果：洁净室内的氧气含量占20%左右，基本正常，但洁净室空气中含有一些其他化学污染物和气味，使人感觉不舒服。
3、洁净室空气中的负离子量
① 一般空气中的离子分为小离子、中离子和大离子三类。小离子是由3~12个带有基本电荷的分子组成的复合物（如： 等）；中离子是大约由100~1000个分子组成的复合体，一般寄存在微粒子上；大离子是由106个分子聚合在一起的凝聚核。
离 子 |
半径（mm） |
基本电荷 |
寿 命 |
公园和田野中的数量（个/cm3） |
小离子 |
6×10-5 |
± 1 |
30~300秒 |
（1~10）×103 |
中离子 |
（1-5）×10-4 |
± 1 |
分~时 |
（1~10）×103 |
大离子 |
> 10-2 |
≤±10 |
天~周 |
（1~100）×103 |
在99年8月份的《精品购物指南》杂志“空气中的负离子”一文中将空气中的负离子称为“空气中的维生素”。该文给出了不同地方空气中的负离子含量。
各空间空气中的负离子含量表（个/ cm3）
空 间 |
森林 瀑布区 |
高山 海边区 |
郊野 田园区 |
都市 公园区 |
街道 绿化区 |
城市 住宅区 |
空调 房间区 |
洁净室内 |
负离子含量 |
100,000~ 500,000 |
50,000~ 100,000 |
5,000~ 50,000 |
1,000~ 2,000 |
100~200 |
40~50 |
0~2 |
0 |
负离子 的作用 |
具有自然的免疫力 |
有杀菌作用减少疾病 |
能增强免疫力、抗菌力 |
维持基本需要 |
可诱发重量状态边缘 |
可诱发生理障碍，头痛失眠 |
可诱发空调病 |
4、洁净室空气中的其他化学成份
洁净室尤其电子工业用的洁净室由于室内装修材料以及生产用的原材料（各种气体、溶剂等）和生产过程排放的废气（含酸、含碱、含有机等化学污染物）等都会向洁净室空气中散发大量的化学物质，不仅影响洁净室内的空气品质，也会污染室外大气。
因此，在设计、建造和使用洁净室时要重视和处理好工艺设备的局部排风和废气的治理。不仅工艺设备本身要加强密封，而且，还要加强通风，提高排风效果，作好气流组织，使洁净室内的空气品质得以改善。
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